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1．同爐處理的零件應為同種或表面積和質量之比接近的零件。零件至陽極的距離應大致相等，并大于 30mm，零件之間應有足夠大的距離并要求均勻，在零件偏低位置放置輔助陰極或輔助陽極，安放試樣時應考慮溫度，盡量和零件一致。
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2．零件上有1~4mm孔槽易引起打弧，ф4~ф10mm的孔槽會造成溫度不均勻，銹蝕零件清洗干凈后方可入爐。
3．零件裝爐后，密封爐蓋和放氣嘴，接通陰陽極導線。預熱并校正真空計，氨氣熱分解爐應提前升溫。
4．起動真空泵使爐子逐漸達到要求的真空度，并打開氣閥充入少量的熱分解氨氣，使爐壓在1.3~13.3Pa左右。
5．閉合高壓開關，慢慢升高電壓，使零件起輝。清理階段開始，一般宜用低氣壓小電流，高電壓、 限流電阻，清理階段正常為擴散弧。但零件裝卡不當，接觸不良，小孔槽未屏蔽及表面大塊狀油污，絕緣物引起局部電弧損傷零件，起輝后1~2h仍在打弧不減弱，說明不正常，應分析原因或停爐。
6．打散弧清理結束后，轉入升溫階段，逐漸加大供NH3量，提高電流、電壓加速升溫，對精密件變形要求嚴格件，升溫速度小于100C/h。當溫度升到200~400 ℃時，孔洞和勾槽中的機油揮發也會引起打弧，弧點集中在孔槽周圍，打弧斷續相同，此時可適當減小電壓、氣壓，使打弧電流減小，待油揮發干凈后，打弧即會停止。
7．如在某個部位集中打弧，無停止跡象，可調節氣壓，并判明不打弧的.高氣壓能否維持零件升溫和保溫的需要，如能維持保溫，可繼續滲氮，如不能就停泵，打開爐膛，清除打弧源后，再重新抽真空升溫。
8．當爐殼溫度升到35 ℃時，開始通冷卻水，冷卻水出口溫度應低于55℃。
9．升溫時，應隨溫度升高，不斷增加輸入氣體的流量或減少抽氣率或加高氣壓，升溫時間通常控制在0.5~3h，升溫時的電流密度應控制在4~5Ma/cm。
10．保溫階段，電流密度比升溫時小，可以通過調節氣壓、電壓、氨分解溫度等使電流密度一定，工作溫度穩定。這時應按工藝確定保溫時間，溫度在500~540℃，電流密度是升溫時的2/3，氣壓在500~800Pa，輝光層厚2~5mm。
11．保溫結束后即可停電，關進氣閥，蝶閥，停泵，關儀表，關氨汽化爐，當爐殼溫度低于25℃時，再關冷卻水。
12．零件在爐內自然冷卻，為 零件表面不產生氧化色，切斷電源后，仍使爐內保持真空狀態，并冷到150℃左右，開爐空冷，在非滲氮部位須涂油防銹。
13．為提高設備利用率，也可通氣冷卻，或用輝光冷卻法，即在保溫階段結束前半小時內，用高電壓、低氣壓和小電流使工件維持稀薄輝光，在停止加熱后，繼續通冷卻水，并可通入大量氨氣（使冷速加快）。
14．對變形超差零件，應在低于滲氮溫度下，部分或整體加熱矯直。
15．如零件表面有藍色，紫色等氧化色，可重新抽氣，再用小電流、低氣壓、高電壓使工件表面產生陰極濺射，幾十分鐘后氧化色可消失。
